Research Field
- Nicht definiert
High resolution defect inspection for EUVL mask blanks by photoemission electron microscopy
- U. Neuhäusler (Autor)
- A. Oelsner (Autor)
- M. Schicketanz (Autor)
- J. Slieh (Autor)
- N. Weber (Autor)
- M. Brzeska (Autor)
- A. Wonisch (Autor)
- T. Westerwalbesloh (Autor)
- H. Brückl (Autor)
- M. Escher (Autor)
- M. Merkel (Autor)
- G. Schönhense (Autor)
- U. Kleineberg (Autor)
- U. Heinzmann (Autor)
Aktivität: Vortrag ohne Tagungsband / Vorlesung › Präsentation auf einer wissenschaftlichen Konferenz / Workshop