Argon ion multibeam nanopatterning of Ni-Cu inserts for injection molding

A. Koeck, R. Bruck, M. Wellenzohn, R. Hainberger, E. Platzgummer, H. Loeschner, P. Joechl, S. Eder-Kapl, C. Ebm, P. Czepl, K. Kaiblinger, F. Pipelka, F. Letzkus, M. Irmscher, B. Heitkamp

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelBegutachtung

OriginalspracheEnglisch
FachzeitschriftJournal of Vacuum Science and Technology B:Nanotechnology and Microelectronics
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2010

Research Field

  • Molecular Diagnostics

Diese Publikation zitieren