Argon ion multibeam nanopatterning of Ni-Cu inserts for injection molding

A. Koeck; R. Bruck; M. Wellenzohn; R. Hainberger; E. Platzgummer; H. Loeschner; P. Joechl; S. Eder-Kapl; C. Ebm; P. Czepl; K. Kaiblinger; F. Pipelka; F. Letzkus; M. Irmscher; B. Heitkamp

doi:10.1116/1.3517643

Argon ion multibeam nanopatterning of Ni-Cu inserts for injection molding

A. Koeck
, R. Bruck
, M. Wellenzohn
, R. Hainberger
, E. Platzgummer
, H. Loeschner
, P. Joechl
, S. Eder-Kapl
, C. Ebm
, P. Czepl
, K. Kaiblinger
, F. Pipelka
, F. Letzkus
, M. Irmscher
, B. Heitkamp

Molecular Diagnostics

IMS Nanofabrication AG
Hubertus Goller GmbH
Institut für Mikroelektronik Stuttgart

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung

Originalsprache	Englisch
Fachzeitschrift	Journal of Vacuum Science and Technology B
DOIs	https://doi.org/10.1116/1.3517643
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2010

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Molecular Diagnostics

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10.1116/1.3517643

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TY - JOUR

T1 - Argon ion multibeam nanopatterning of Ni-Cu inserts for injection molding

AU - Koeck, A.

AU - Bruck, R.

AU - Wellenzohn, M.

AU - Hainberger, R.

AU - Platzgummer, E.

AU - Loeschner, H.

AU - Joechl, P.

AU - Eder-Kapl, S.

AU - Ebm, C.

AU - Czepl, P.

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AU - Heitkamp, B.

PY - 2010

Y1 - 2010

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U2 - 10.1116/1.3517643

DO - 10.1116/1.3517643

M3 - Article

SN - 2166-2746

JO - Journal of Vacuum Science and Technology B

JF - Journal of Vacuum Science and Technology B

ER -