Argon ion multibeam nanopatterning of Ni-Cu inserts for injection molding

  • A. Koeck
  • , R. Bruck
  • , M. Wellenzohn
  • , R. Hainberger
  • , E. Platzgummer
  • , H. Loeschner
  • , P. Joechl
  • , S. Eder-Kapl
  • , C. Ebm
  • , P. Czepl
  • , K. Kaiblinger
  • , F. Pipelka
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  • , M. Irmscher
  • , B. Heitkamp

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelBegutachtung

OriginalspracheEnglisch
FachzeitschriftJournal of Vacuum Science and Technology B:Nanotechnology and Microelectronics
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2010

Research Field

  • Molecular Diagnostics

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