Atomic layer deposition of high-k oxides on InAIN/GaN-based materials

S. Abermann; C. Ostermaier; G. Pozzovivo; J. Kuzmik; O. Bethge; C. Henkel; G. Strasser; D. Pogany; C. Giesen; M. Heuken; E. Kohn; M. Alomari; E. Bertagnolli

Atomic layer deposition of high-k oxides on InAIN/GaN-based materials

S. Abermann
, C. Ostermaier
, G. Pozzovivo
, J. Kuzmik
, O. Bethge
, C. Henkel
, G. Strasser
, D. Pogany
, C. Giesen
, M. Heuken
, E. Kohn
, M. Alomari
, E. Bertagnolli

Publikation: Beitrag in Buch oder Tagungsband › Vortrag mit Beitrag in Tagungsband › Begutachtung

Originalsprache	undefiniert/unbekannt
Titel	ECS Transactions
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2009

Research Field

Energy Conversion and Hydrogen Technologies

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Diese Publikation zitieren

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TY - GEN

T1 - Atomic layer deposition of high-k oxides on InAIN/GaN-based materials

AU - Abermann, S.

AU - Ostermaier, C.

AU - Pozzovivo, G.

AU - Kuzmik, J.

AU - Bethge, O.

AU - Henkel, C.

AU - Strasser, G.

AU - Pogany, D.

AU - Giesen, C.

AU - Heuken, M.

AU - Kohn, E.

AU - Alomari, M.

AU - Bertagnolli, E.

PY - 2009

Y1 - 2009

UR - http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-74249084876&partnerID=MN8TOARS

M3 - Vortrag mit Beitrag in Tagungsband

BT - ECS Transactions

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