Development of a monolithically integrated, CMOS-compatible SiN photonics process flow for sensor and medical applications

Martin Sagmeister, S. Jessenig, P. Müllner, Stefan Nevlacsil, Alejandro Maese-Novo, M. Eggeling, R. Hainberger, Dana Seyringer, Wolfgang Drexler, Elisabeth Rank, J. Kraft

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OriginalspracheEnglisch
TitelINTERPHOTONICS 2019 - Book of Abstracts
Seitenumfang61
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2019

Research Field

  • Molecular Diagnostics

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