Direct replication of nanostructures from silicon wafers in polymethylpentene by injection molding

R. Bruck; R. Hainberger; R. Heer; N. Kataeva; A. Köck; M. Krapf-Günther; K. Kaiblinger; F. Pipelka; B. Bilenberg

doi:10.1117/12.859817

Direct replication of nanostructures from silicon wafers in polymethylpentene by injection molding

R. Bruck
, R. Hainberger
, R. Heer
, N. Kataeva
, A. Köck
, M. Krapf-Günther
, K. Kaiblinger
, F. Pipelka
, B. Bilenberg

Hubertus Goller GmbH
NIL Technology ApS

Publikation: Beitrag in Buch oder Tagungsband › Vortrag mit Beitrag in Tagungsband

Originalsprache	undefiniert/unbekannt
Titel	Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
DOIs	https://doi.org/10.1117/12.859817
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2010

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10.1117/12.859817

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TY - GEN

T1 - Direct replication of nanostructures from silicon wafers in polymethylpentene by injection molding

AU - Bruck, R.

AU - Hainberger, R.

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PY - 2010

Y1 - 2010

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U2 - 10.1117/12.859817

DO - 10.1117/12.859817

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