| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Seiten (von - bis) | 523-526 |
| Seitenumfang | 4 |
| Fachzeitschrift | Vacuum(1985) |
| Publikationsstatus | Veröffentlicht - 1985 |
Research Field
- Nicht definiert
Schlagwörter
- FZS-000PHP
EFSA - a new evaluation method of the depth resolution in depth profiling of multilayer structures
D. Marton, J. Laszlo, J. Giber, Friedrich Rüdenauer
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