Erschütterungseinwirkung bei Präzisionsgeräten: Grenzwerteinhaltung unter dem Aspekt der korrekten Signalanalyse

Die Anforderungen an die zulässigen Erschütterungen von Präzisionsanlagen wie z.B. Geräte für Feinmesstechnik, Mikroskopie, Chipfertigung, an Massenspektrometern sowie bei laseroptischen Anwendungen oder empfindlichen Analysegeräten können Größenordnungen unterhalb der menschlichen Wahrnehmungsgrenze liegen. In der Praxis sind Anhaltswerte für zulässige Erschütterungen nur selten in eindeutiger und vollständiger Form vorhanden. Es werden stattdessen vielfach vereinfachte und sehr grobe Angaben von den Herstellern gemacht, die historisch gewachsen sind und meist auf der sicheren Seite liegen, da diese in der Regel aus Messungen an optimalen Bestandsituationen abgeleitet werden. Diese Richtwertangaben können als Schwingungsspektren in Form von Amplitudenspektren, PSD-Spektren (Power Spectrum Density) oder Terzspektren, oder aber auch als Weg-, Schwinggeschwindigkeits- oder Beschleunigungsspektren angegeben sein.

Nicht immer geht aus den Angaben klar hervor, wie die Grenzwerte zu interpretieren sind. Die Mess- und Auswerteprozedur muss meist hinterfragt werden, um aus den Messwerten geeignete Beurteilungsspektren berechnen und den Grenzwerten gegenüberstellen zu können. Besondere Beachtung verdient die jeweilige anzuwendende Mess- und Auswerteprozedur. Mittelungsparameter der Einzelspektren (lineare oder energetische Mittelung, Peak-Hold- Werte, Fenstergröße der FFT-Analyse) können die Ergebnisse um 300 % bis 500 % beeinflussen.