Fabrication of highly ordered nanopillar arrays and defined etching of ALD-grown all-around platinum films

O. Bethge, G. Pozzovivo, C. Henkel, Stephan Abermann, E. Bertagnolli

    Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelBegutachtung

    OriginalspracheEnglisch
    Seiten (von - bis)85013
    Seitenumfang1
    FachzeitschriftJournal of Micromechanics and Microengineering
    PublikationsstatusVeröffentlicht - 2012

    Research Field

    • Ehemaliges Research Field - Energy

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