Fabrication of UV-photomasks by writing ion beam implantation

Günther Stangl, Friedrich Rüdenauer, J. Mitterauer, Z. Szalmassy, Wolfgang Fallmann

    Publikation: Beitrag in Buch oder TagungsbandVortrag mit Beitrag in Tagungsband

    OriginalspracheEnglisch
    TitelMicrocircuit engineering '83
    PublikationsstatusVeröffentlicht - 1983
    VeranstaltungMicrocircuit engineering '83 -
    Dauer: 1 Jan. 1983 → …

    Konferenz

    KonferenzMicrocircuit engineering '83
    Zeitraum1/01/83 → …

    Research Field

    • Nicht definiert

    Schlagwörter

    • FZS-000PHP
    • FZS-300PHX

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