Herstellung photolithographischer DUV-Arbeitsmasken mittels schreibender und projizierender Ionenimplantation

Friedrich Rüdenauer, Günther Stangl

Publikation: Beitrag in Buch oder Tagungsband › Vortrag mit Beitrag in Tagungsband

Originalsprache	Deutsch
Titel	VDI-Tagung 'Maskentechnologie'
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 1985
Veranstaltung	VDI-Tagung 'Maskentechnologie' - Dauer: 1 Jan. 1985 → …

Konferenz	VDI-Tagung 'Maskentechnologie'
Zeitraum	1/01/85 → …

Research Field

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title = "Herstellung photolithographischer DUV-Arbeitsmasken mittels schreibender und projizierender Ionenimplantation",

keywords = "FZS-300PHP, FZS-300PHP",

author = "Friedrich R{\"u}denauer and G{\"u}nther Stangl",

year = "1985",

language = "Deutsch",

booktitle = "VDI-Tagung 'Maskentechnologie'",

note = "VDI-Tagung 'Maskentechnologie' ; Conference date: 01-01-1985",

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