Ion multi-beam direct sputtering of Si imprint stamps and simulation of resulting structures

S Eder-Kapl, A. Steiger-Thirsfeld, M. Wellenzohn, A. Köck, R. Hainberger, H. Löschner, E Platzgummer

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelBegutachtung

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)55008
Seitenumfang1
FachzeitschriftJournal of Micromechanics and Microengineering
Volume22
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2012

Research Field

  • Ehemaliges Research Field - Health and Bioresources

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