Originalsprache | Englisch |
---|---|
Seiten (von - bis) | 1542-1547 |
Seitenumfang | 6 |
Fachzeitschrift | J. Vac. Sci. Technol., B(Sep/Oct 1988) |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 1988 |
Research Field
- Nicht definiert
Schlagwörter
- FZS-000IPP
Friedrich Rüdenauer, W. Steiger, D. Schrottmayer
Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel
Originalsprache | Englisch |
---|---|
Seiten (von - bis) | 1542-1547 |
Seitenumfang | 6 |
Fachzeitschrift | J. Vac. Sci. Technol., B(Sep/Oct 1988) |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 1988 |