Localized ion beam induced deposition of Al-containing layers.

Friedrich Rüdenauer, W. Steiger, D. Schrottmayer

    Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel

    OriginalspracheEnglisch
    Seiten (von - bis)1542-1547
    Seitenumfang6
    FachzeitschriftJ. Vac. Sci. Technol., B(Sep/Oct 1988)
    PublikationsstatusVeröffentlicht - 1988

    Research Field

    • Nicht definiert

    Schlagwörter

    • FZS-000IPP

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