| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Seiten (von - bis) | 1542-1547 |
| Seitenumfang | 6 |
| Fachzeitschrift | J. Vac. Sci. Technol., B(Sep/Oct 1988) |
| Publikationsstatus | Veröffentlicht - 1988 |
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