Machine Learning Methods for Analysis and Prognosis of Outages in Reactive Ion Etching Processes in the Semiconductor Industry

Clemens Heistracher

Publikation: AbschlussarbeitMasterarbeit

OriginalspracheEnglisch
Gradverleihende Hochschule
  • TU Wien
Betreuer/-in / Berater/-in
  • Gröschl, Martin, Betreuer:in, Externe Person
Datum der Bewilligung14 Jan. 2022
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2022

Research Field

  • Ehemaliges Research Field - Data Science

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