Modeling the Growth of Tin Dioxide Using Spray Pyrolysis Deposition for Gas Sensor Applications

Lado Filipovic, S Selberherr, Giorgio Cataldo Mutinati, Elise Brunet, Stephan Steinhauer, Anton Köck, J. Teva, J. Kraft, J. Siegert, F Schrank, C Gspan, W. Grogger

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelBegutachtung

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)269-277
Seitenumfang9
FachzeitschriftIEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
Volume27
Issue2
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2014

Research Field

  • Außerhalb der AIT Research Fields

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