Modeling the Growth of Tin Dioxide Using Spray Pyrolysis Deposition for Gas Sensor Applications

  • Lado Filipovic
  • , S Selberherr
  • , Giorgio Cataldo Mutinati
  • , Elise Brunet
  • , Stephan Steinhauer
  • , Anton Köck
  • , J. Teva
  • , J. Kraft
  • , J. Siegert
  • , F Schrank
  • , C Gspan
  • , W. Grogger

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelBegutachtung

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)269-277
Seitenumfang9
FachzeitschriftIEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
Volume27
Issue2
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2014

Research Field

  • Außerhalb der AIT Research Fields

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