Originalsprache | Englisch |
---|---|
Seiten (von - bis) | 1856-1859 |
Seitenumfang | 4 |
Fachzeitschrift | Microelectronic Engineering |
Volume | 88 |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2011 |
Research Field
- Außerhalb der AIT Research Fields
Claudia Preininger, Ursula Sauer, M. Chouiki, R. Schöftner
Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung
Originalsprache | Englisch |
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Seiten (von - bis) | 1856-1859 |
Seitenumfang | 4 |
Fachzeitschrift | Microelectronic Engineering |
Volume | 88 |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2011 |