| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Seiten (von - bis) | 1856-1859 |
| Seitenumfang | 4 |
| Fachzeitschrift | Microelectronic Engineering |
| Volume | 88 |
| Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2011 |
Research Field
- Außerhalb der AIT Research Fields
Claudia Preininger, Ursula Sauer, M. Chouiki, R. Schöftner
Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Seiten (von - bis) | 1856-1859 |
| Seitenumfang | 4 |
| Fachzeitschrift | Microelectronic Engineering |
| Volume | 88 |
| Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2011 |