| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Seiten (von - bis) | 66-72 |
| Seitenumfang | 7 |
| Fachzeitschrift | Journal of Vacuum Science and Technology B |
| Volume | 28 |
| Issue | 1 |
| Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2009 |
Research Field
- Ehemaliges Research Field - Health and Bioresources
Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Seiten (von - bis) | 66-72 |
| Seitenumfang | 7 |
| Fachzeitschrift | Journal of Vacuum Science and Technology B |
| Volume | 28 |
| Issue | 1 |
| Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2009 |