Predicting Time-to-Failure of Plasma Etching Equipment using Machine Learning

Anahid Naghibzadeh-Jalali (Autor:in, eingeladen), Clemens Heistracher (Vortragende:r, eingeladen), Alexander Schindler (Autor:in, eingeladen), Bernhard Haslhofer (Autor:in, eingeladen), Tanja Nemeth (Autor:in, eingeladen), Robert Glawar (Autor:in, eingeladen), Wilfried Sihn (Autor:in, eingeladen), Peter De Boer (Autor:in, eingeladen)

Publikation: Beitrag in Buch oder TagungsbandVortrag mit Beitrag in TagungsbandBegutachtung

OriginalspracheEnglisch
Titel2019 IEEE International Conference on Prognostics and Health Management (ICPHM)
Seiten1-8
Seitenumfang8
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2019
VeranstaltungIEEE International Conference on Prognostics and Health Management (PHM2019) -
Dauer: 17 Juni 201919 Juni 2019

Konferenz

KonferenzIEEE International Conference on Prognostics and Health Management (PHM2019)
Zeitraum17/06/1919/06/19

Research Field

  • Ehemaliges Research Field - Data Science

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