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Status and trends in modern micro- and nanotechnology

  • H. Brückl
  • , R. Hainberger
  • , R. Heer
  • , A. Köck

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel

OriginalspracheDeutsch
Seiten (von - bis)442
Seitenumfang1
FachzeitschriftElektrotechnik und Informationstechnik (e & i)
Volume12
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2005

Research Field

  • Nicht definiert

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