Use of electron beam techniques to study ion deposition in secondary ion mass spectrometry sputter craters

J.D. Brown, Friedrich Rüdenauer

    Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikel

    OriginalspracheEnglisch
    Seiten (von - bis)2727-2732
    Seitenumfang6
    FachzeitschriftJ. Appl. Phys.(15 Apr 1985)
    PublikationsstatusVeröffentlicht - 1985

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